在大規(guī)模的集成電路超純水水質(zhì)中，優(yōu)先獲得關注的水質(zhì)指標為：電阻率、TOC、硅、微粒、重金屬、溶解氧、堿金屬等，這類物質(zhì)會溶于水中，而在集成電路芯片的制造過程中，使用的水質(zhì)中所含離子成分越多，則對產(chǎn)品的制造工藝的影響越大，使得產(chǎn)品良率降低。
集成電路的超純水設備常用于工業(yè)半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩膜板的制作以及硅片氧化用的水汽源等。此外真空管等的制作、厚膜和薄膜電路、固態(tài)電子器件、印刷電路等也都是需要使用超純水。隨著科技的不斷發(fā)展，集成電路的集成度與日俱增，對水質(zhì)的要求也隨之增高，從而使得超純水處理工藝及產(chǎn)品的可持續(xù)性、生產(chǎn)的連續(xù)性、設備的自動化和簡易性都提出了更加嚴格的要求。
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科大環(huán)保超純水系統(tǒng)采用目前世上最先進的工藝流程制取電路板用超純水設備；采用進口品牌的RO膜和edi模塊；預處理系統(tǒng)定制的是特制精密砂；椰殼活性炭；可以有效的保護反滲透RO膜，從而大大提高設備的運行壽命；
工藝流程：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點
滲源純水針對于現(xiàn)在的集成電路用超純水設備采用先進的全自動雙級反滲透+EDI電除鹽+拋光混床處理技術，在前置預處理部分配套使用反滲透處理，能有效的去除水中各種鹽分和雜質(zhì)，緊接著使用EDI電除鹽和拋光混床技術，能有效的去除水質(zhì)的可溶性離子，進一步的提升出水水質(zhì)，使得最終的出水水質(zhì)達到用水工藝要求。
設備特點：
1.采用進口增壓泵，噪音低效率高，穩(wěn)定可靠
2.全自動電控程序，還可選配觸摸屏操作，使用方便。
3.采用全自動預處理系統(tǒng)，實現(xiàn)無人化操作，減少人工維護成本。
4.采用進口反滲透膜，脫鹽率高，使用壽命長，運行成本低廉。
5.切合當?shù)厮|(zhì)的個性化設計，全方位滿足需求。
6.在線水質(zhì)監(jiān)測控制，實時監(jiān)測水質(zhì)變化，保障水質(zhì)安全。
7.節(jié)省了再生用水及再生污水處理設施，產(chǎn)水率高(可達95%)。
8.無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施，使用安全可靠，避免工人接觸酸堿。
9.簡化安裝過程，降低場地占地面積。
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應用領域：
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。
2、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制。
3、半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗。
4、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片。
5、電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。
6、光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品 。
7、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水。
8、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗。
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